1γ节点开始导入 美光确认EUV工艺DRAM内存芯片2024年量产

1γ节点开始导入 美光确认EUV工艺DRAM内存芯片2024年量产

CPU、GPU为代表的逻辑工艺制程进入7nm之后,EUV光刻工艺是少不了的。现在内存还停留在10nm工艺级别,暂时没用到EUV工艺。不过三星、SK海力士及美光也确定未来会用,其

2021-07-18