晶瑞电材：ArF（193）高端光刻胶研发工作已正式启动

12月16日消息，近日，晶瑞电材在接受机构调研时表示，公司高端KrF(248)光刻胶已完成中试，建成了中试示范线，已进入客户测试阶段。目前ArF(193)高端光刻胶研发工作已正

2021-06-30